Thermal Mass Flow Meter คืออุปกรณ์ที่ใช้วัดอัตราการไหลของก๊าซ โดยอาศัยหลักการถ่ายเทความร้อน (Heat Transfer) ระหว่างก๊าซที่ไหลผ่านกับเซนเซอร์ที่ถูกทำให้ร้อน เมื่อก๊าซไหลผ่าน ความร้อนจะถูกพาออกไปในปริมาณที่สัมพันธ์กับอัตราการไหล ระบบจึงสามารถคำนวณอัตราการไหลเชิงมวลได้อย่างแม่นยำ

ต่างจาก Flow Meter แบบดั้งเดิม Thermal Mass Flow Meter ไม่ต้องการอุปกรณ์วัดแรงดันหรืออุณหภูมิเพื่อชดเชย ทำให้ใช้งานสะดวก ลดความซับซ้อน และลดต้นทุนการบำรุงรักษา